ゲージ圧力と絶対圧力の違い
ゲージ圧力と絶対圧力のどちらを測定する必要があるかを決定することは重要です。間違った基準を選択すると、測定値が1 barずれる可能性があり、状況によっては重大なエラーになりかねません
ゲージ圧力
ゲージ圧力は、大気圧を基準値とし、どのタイプのチャンバも通気時は大気中の圧力と等しくなるため、最も一般的に使用される圧力基準です。つまり、圧力の変化を測定するために大気圧を差し引く必要がありません。そのため、大部分のプロセスとテスト手順の自然な基準点になります。ゲージ圧力は有効圧力とも呼ばれ、通常、bargやpsig(またはbare、psie)で表されます。
絶対圧力
絶対圧力は、常に完全な真空またはゼロ圧力と呼ばれるため、圧力基準としてはあまり使用されません。そのため、絶対圧力を測定値として使用する用途はより専門的であることが多くなります。絶対圧力は一般に、baraまたはpsiaで表されます。
何を、どのような場合に測定するのか