電子機器および半導体用オイルフリーエアコンプレッサ

革新的な技術には多くのものを要しますが、特に高い空気品質を必要とします。当社のコンプレッサは、認証を取得したオイルフリーエアを供給します。Zシリーズコンプレッサは、TÜVより「オイルフリー」認証（ISO 8573-1 CLASS 0）を受けた初のエアコンプレッサです。さらに、アトラスコプコはISO 22000の認証を受けた唯一のコンプレッサメーカーです。

半導体および電子機器の製造工程は、きわめてエネルギー集約的な工程です。アトラスコプコのソリューションは、このエネルギーを回収する大きなチャンスを提供します。熱は、エア圧縮で必ず発生する副産物ですが、当社の熱回収ユニットでこの損失エネルギーの最大90%を再利用できます。生産コストの削減と環境への影響の縮小を実現します。熱回収に関する詳細はこちら

圧縮空気のサプライヤーが信頼できるかどうかが重要です。クリーンな乾燥空気は半導体工場にとって重要なユーティリティであり、供給が中断すれば大きな損害につながりかねません。アトラスコプコのグローバルなサービスネットワークは世界180か国以上で展開しているため、リードタイムは非常に短く、メンテナンスが必要な場合でもダウンタイムを最小化することができます。

クリーンルームは、工場の中心的な施設です。室内の温度と湿度を管理するだけではなく、ほこりや汚染物質を除去する必要があります。つまり、汚染防止のためには圧縮空気はClass 0 オイルフリーエアでなければならないのです。

パターン形成つまりフォトリソグラフィとは、ウェーハ上に特定のパターンを転写するプロセスです。

圧縮空気は、選別、パッケージング、検査、ハンドリング、組立、エッチングやその他の計装または空圧ツール用途に使用されます。オイルフリーエアを使用することで、製品が製造工程で汚染されることはありません。

真空パージおよびベンチュリーポンプには、汚染防止のためオイルフリーエアを使用しなければなりません。

電子機器工場の製造工程で使用される水は、排出する前に処理する必要があります。 廃水処理に関する詳細はこちら

高品質の窒素、つまり高純度の窒素を使用して電子機器をはんだ付けすることには多数の利点があります。はんだ付け性が向上するだけではなく、環境上のメリットも得られます。