반도체 산업용 CDA(깨끗하고 건조한 공기)
CDA(깨끗하고 건조한 공기)에 대해 알아야 할 모든 것
CDA의 의미
CDA는 깨끗하고 건조한 공기를 의미하며 반도체 산업용 압축 공기 품질 표준입니다. 이 분야에 필요한 공기 품질 수준은 다른 대부분의 응용 분야를 훨씬 뛰어넘습니다. 그럴만한 이유가 있습니다. 오염으로 인해 그처럼 엄청난 피해를 입게 되고 비용이 많이 드는 결과를 초래할 수 있는 산업은 거의 없습니다.
또한 일부 응용 분야에서는 오일이 없거나, 먼지가 없거나, 건식 압축 공기가 필요하지만 반도체 산업에서는 세 가지가 모두 필요합니다. 클린룸에 습기, 입자/먼지 또는 오일이 있으면 반도체 전체 배치, 그리고 보다 중요하게는 그것들을 생산하는 기계의 스테인리스 스틸 부품을 망칠 수 있으며 그로 인해 수백만 유로 또는 달러의 비용이 들 수 있습니다. 따라서 공기 품질은 필수이며, 깨끗하고 건조한 공기의 안정적인 공급이 무엇보다 중요합니다.
ISO 8573-1:2010에 따른 깨끗하고 건조한 공기
그렇다면 공기는 얼마나 깨끗하고 건조해야 할까요?
공기 품질 등급의 국제 표준인 ISO 8573-1:2010의 Class 0을 충족해야 합니다.
이 표준은 공기가 포함할 수 있는 세 가지 유형 오염 물질의 양을 정의합니다. 등급이 낮을수록 공기의 품질도 높아집니다. 따라서 Class 0은 가장 오염도가 낮은 공기를 의미합니다.
반도체 생산의 클린룸 요구 사항을 충족하기 위해, 공기는 수분, 오일 및 먼지에 대해 Class 0 품질을 달성해야 합니다.
수분, 오일 및 먼지에 대해 Class 0을 달성하는 방법은 무엇입니까?
- 이 모든 것은 올바른 컴프레서에서 시작됩니다. 무급유식 장치에 대한 투자는 반도체 생산업체가 이미 오일이라는 한 가지 오염 물질에 대해서는 더 이상 걱정할 필요가 없다는 것을 의미합니다.
- 그다음, 특수 필터는 압축 공기에서 먼지 또는 기타 입자를 제거하여 클린룸에 들어가지 못하게 합니다. Class 0에 도달하려면 여러 개가 필요합니다.
이는 "청정"을 관리하지만 부식 위험을 제거하는 "건조"는 어떻습니까?
- 이를 위해서는 -70°C 미만의 압력 이슬점(PDP)에 도달할 수 있는 고성능 드라이어가 필요합니다. 이 유형의 PDP는 건조제 흡착식 드라이어로 얻을 수 있습니다. 이러한 흡착식 드라이어는 중요한 응용 분야에 매우 건조한 공기를 제공하기 위한 최적의 선택입니다.
CDA 압축 공기 시스템 설치
하지만 일반적인 CDA 설치를 통해 오염 물질이 클린룸에 들어가지 않도록 하고 트리플 제로의 품질을 달성하려면 어떻게 해야 할까요?
- 먼저 무급유식 컴프레서를 사용합니다. 반도체 생산에는 많은 에너지가 필요하기 때문에 에너지 효율적인 모델에 투자하는 것이 합리적입니다. 이를 통해 운용 비용을 크게 절감할 수 있습니다.
- 다음으로 프리필터가 있습니다. 이는 압축 공기 내의 입자 대부분을 걸러주는 것입니다. 따라서 드라이어에 도달하는 공기는 이미 깨끗하기 때문에 유지보수의 필요성이 줄어듭니다. 흡착식 드라이어는 공기를 건조시키는 데 큰 역할을 하지만, 건조제 먼지가 발생할 수 있습니다. 따라서 새로 건조된 공기는 이후 흡착제 먼지를 걸러내고 공기를 더 정제하기 위한 두 개의 필터를 통과합니다.
- 이 단계에서는 가장 미세한 입자만 남습니다. 이제 공기는 하나의 필터만 더 통과하면 됩니다. 일반적으로 이 필터는 표면 여과 기술을 사용하여 0.01μm의 입자를 포획하는 PTFE 멤브레인 필터입니다.
이 마지막 단계에 이어, 깨끗하고 건조한 공기는 이제 반도체 생산에 지장을 주지 않고 클린룸 환경에서 사용될 수 있습니다.