반도체 산업의 필수 요소, CDA(Clean Dry Air)란?

공기는 얼마나 깨끗하고 건조해야 할까요? 국제 표준인 ISO 8573-1:2010의 Class 0을 충족해야 합니다. 이 표준은 공기 중에 포함될 수 있는 세 가지 유형의 오염 물질의 양을 정의합니다. 등급이 낮을수록 공기 품질이 높아지며, Class 0은 가장 오염도가 낮은 공기를 의미합니다.

반도체 생산의 클린룸 요구 사항을 충족하기 위해 공기는 수분, 오일, 먼지에 대해 Class 0 품질을 달성해야 합니다. 이는 반도체 생산 과정에서 오염을 최소화하고, 품질을 유지하는 데 필수적인 조건입니다.

수분, 오일 및 먼지에 대해 Class 0을 달성하려면 올바른 컴프레서 선택이 필수적입니다. 무급유식 컴프레서에 투자하면 반도체 생산업체는 오일이라는 오염 물질에 대해 더 이상 걱정할 필요가 없습니다.

그다음으로, 특수 필터를 사용하여 압축 공기에서 먼지 및 기타 입자를 제거하여 클린룸으로의 유입을 차단해야 합니다. Class 0 품질을 달성하기 위해 여러 개의 필터가 필요합니다.

"청정"을 관리하는 것 외에도 부식 위험을 줄이기 위해서는 고성능 드라이어가 필요합니다. 이 드라이어는 -70°C 미만의 압력 이슬점(PDP)에 도달할 수 있어야 합니다. 이러한 PDP는 건조제 흡착식 드라이어를 통해 얻을 수 있으며, 이는 중요한 응용 분야에 매우 건조한 공기를 제공하기 위한 최적의 선택입니다.

무급유식 컴프레서를 사용합니다. 반도체 생산은 많은 에너지를 필요로 하므로, 에너지 효율이 높은 모델에 투자하는 것이 합리적입니다. 이렇게 하면 운영 비용을 크게 줄일 수 있습니다.

프리필터를 설치하여 압축 공기 내 대부분의 입자를 걸러냅니다. 이렇게 하면 드라이어에 도달하는 공기가 이미 깨끗해져 유지보수 필요성이 줄어듭니다. 흡착식 드라이어는 공기를 건조시키는 데 중요한 역할을 하지만, 드라이어에서 건조제 먼지가 발생할 수 있습니다. 따라서 새로 건조된 공기는 흡착제 먼지를 걸러내고 추가 정제를 위해 두 개의 필터를 통과해야 합니다.

이 단계에서는 가장 미세한 입자만 남게 되며, 이후 공기는 한 개의 필터를 더 통과합니다. 이 필터는 일반적으로 표면 여과 기술을 사용하여 0.01μm 크기의 입자를 포획하는 PTFE 멤브레인 필터입니다.

마지막 단계인 이 필터링 과정을 거치면, 깨끗하고 건조한 공기가 생성됩니다. 이제 이 공기는 반도체 생산에 지장을 주지 않고 클린룸 환경에서 안전하게 사용될 수 있습니다.