최적의 CDA(깨끗하고 건조한 공기)시스템 구축
반도체 산업을 위한 CDA
반도체 산업에서는 깨끗하고 건조한 공기가 매우 중요하기 때문에 플랜트 수명 기간 동안 연중무휴 24시간 내내 연속 작동을 위한 특수한 공기 품질 요구 사항인 CDA가 필요합니다. 이를 위해서는 압축 공기가 매우 깨끗하고 건조해야 하며 깨끗하고 건조한 공기 컴프레셔, CDA 드라이어 및 여러 개의 깨끗한 건조 공기 라인 필터(공기 및 공정 필터)로 구성된 깨끗하고 건조한 공기 시스템이 필요합니다.
하지만 그게 전부는 아닙니다. 전자 부문의 수요를 수용하기 위해서는 압축 공기 및 공기 처리 장비도 매우 신뢰할 수 있어야 합니다. 또한 전자 장치 생산은 많은 에너지를 소비하므로, 효율성은 운용 비용을 유지하는 데 매우 중요합니다.
이러한 모든 요구 사항을 종합해볼 때, CDA 압축 공기 장비 공급업체를 선택하는 것이 중요하다는 것이 분명해집니다.
클래스 제로 품질로 CDA 표준 충족
이 모든 것은 최고 수준의 공기 품질을 달성하는 것으로부터 시작됩니다. 그러나 그것은 무엇을 의미할까요? 압축 공기의 품질은 ISO 8573-1:2010이라는 국제 표준에 따라 분류됩니다. 이 방법은 공기가 다양한 응용 분야에 맞는 충분히 깨끗한 정도까지 포함될 수 있는 오염 물질의 양을 결정합니다.
예를 들어, 타이어에 주입하는 공기는 매우 깨끗하지 않아도 됩니다. 그러나 클린룸 환경에서는 공기 품질이 매우 높아야 합니다. 따라서 ISO 표준은 7가지 등급과 3가지 오염 물질인 수분, 오일 및 미립자로 나뉩니다.
등급이 낮을수록 공기가 깨끗합니다. 매우 건조하며 오일 또는 입자의 흔적이 전혀 없는 압축 공기는 세 가지 오염 물질 모두에 대해 Class 0 건조 공기입니다. 대부분의 응용 분야는 Class 0에 도달할 필요가 없습니다. 도달할 경우, 공기는 오일이 없거나, 물이 없거나, 미립자가 없어야 하지만 이 세 가지를 충족하는 경우는 거의 없습니다.
그러나 전자 업계에서는 생산 중단 및 제품 오염을 방지하기 위해 공기가 위의 모든 것을 충족해야 합니다. 즉, CDA 품질을 충족하려면 모든 오염 물질에 대해 Class 0을 달성해야 합니다.
아트라스콥코의 CDA 솔루션
목표 달성을 위해서는 클린룸과 반도체 생산을 보호하는 고품질의 깨끗하고 건조한 공기 시스템이 필요합니다.
이 모든 것은 깨끗하고 건조한 공기 컴프레셔에서 시작됩니다. 이 경우, 첫 번째 제로를 달성하는 데 도움이 되는 무급유식 모델이 필요합니다.
아트라스콥코는 오일이 없는 공기를 공급할 뿐만 아니라 안정적이고 효율적으로 공급할 수 있는 다양한 모델을 제공합니다. 결과적으로 반도체 배치가 오염되지 않고 부식으로 인해 장비가 손상되지 않도록 할 뿐만 아니라 생산 비용도 크게 절감할 수 있습니다.
두 번째로 우려해야 할 오염 물질은 수분입니다. 압축 공기에서 수분 제로가 되도록 하려면 CDA 흡착식 드라이어가 필요합니다. 반도체 생산을 위해 공기가 완전히 건조되어야 하기 때문에 이를 제습식 또는 흡착식 에어 드라이어라고 합니다. 이는 -70°C 미만의 필수 압력 이슬점(PDP)에 도달하는 유일한 방법입니다.
여기에도 다양한 솔루션이 있습니다. 여기에는 최초의 고체 압축 공기 제습제인 Cerades™가 들어있는 드라이어가 포함되며 이를 통해 효율성과 신뢰성을 높일 수 있습니다.
최종 오염 물질로 미립자가 남게 됩니다. 먼지가 없는 공기를 얻으려면 다양한 깨끗하고 건조한 공기 필터가 필요합니다. 첫 번째는 컴프레셔와 드라이어 사이에 있습니다. 이 필터는 드라이어를 보호합니다. 나머지 필터는 드라이어의 다운스트림에 설치되며 PTFE 멤브레인 필터를 포함합니다. 이 두 가지 방법을 함께 사용하면 0.01μm 크기의 입자까지 제거됩니다.
또한 모든 여과 요구 사항도 충족시킵니다.
단일 CDA 공급업체에서 깨끗하고 건조한 압축 공기 시스템 확보
아트라스콥코에게 특정 요구 사항을 충족하는 고품질의 고효율 장비를 선택할 수 있습니다. 또한 단일 공급원으로부터 깨끗하고 건조한 공기 시스템을 얻을 수 있습니다. 즉, 깨끗하고 건조한 공기 컴프레셔, CDA 드라이어 및 깨끗하고 건조한 공기 필터가 모두 함께 최적으로 작동합니다.