반도체 산업에서 중요한 CDA 시스템
반도체 산업은 깨끗하고 건조한 공기(CDA, Clean Dry Air)가 필수적입니다. 반도체 제조 공정에서는 24시간 연속 가동이 기본이며, 이를 위해 CDA는 플랜트 수명 동안 안정적인 공기 품질을 유지해야 합니다.
CDA 시스템은 깨끗하고 건조한 공기를 제공하기 위해 다음과 같은 장비로 구성됩니다.
컴프레서: 압축 공기를 생산합니다.
CDA 드라이어: 공기를 건조시켜 습기를 제거합니다.
공기 및 공정 필터: 공기 중 미세 오염물질을 제거합니다.
적합한 CDA 장비 선택이 중요한 이유
장비의 안정성이 확보되지 않으면 생산 공정에 차질이 생기고 불량률이 증가할 수 있습니다.
반도체 제조는 높은 품질의 압축 공기를 안정적으로 공급받아야 하는 까다로운 공정입니다. 압축 공기 장비는 장시간 연속 가동이 가능한 뛰어난 신뢰성을 지녀야 합니다. 장비의 안정성이 확보되지 않으면 생산 공정에 차질이 생기고 불량률이 증가할 수 있습니다.
또한, 반도체 생산 공정은 에너지 소비가 많기 때문에 효율적인 장비를 사용하는 것이 중요합니다. 에너지 비용을 줄이고 운영 효율을 극대화하기 위해서는 신뢰성과 효율성을 모두 갖춘 CDA 장비를 선택해야 합니다. 적합한 장비를 선택하면 생산성을 높이고 장기적인 비용 절감 효과를 얻을 수 있습니다. 결론적으로, 반도체 산업의 성공을 위해서는 신뢰성과 효율성을 고려한 전문 CDA 장비 공급업체를 선택하는 것이 필수입니다.
클래스 제로 품질로 CDA 표준 충족하기
반도체 칩 생산의 시작은 최고 수준의 공기 품질을 확보하는 것입니다. 그렇다면 공기 품질이란 무엇일까요?
압축 공기의 품질은 국제 표준 ISO 8573-1:2010에 따라 정의됩니다. 이 표준은 공기에 포함될 수 있는 오염 물질의 양을 측정해 다양한 용도에 적합한 공기 상태를 결정합니다. 예를 들어, 타이어에 사용하는 공기는 아주 깨끗하지 않아도 됩니다. 하지만 반도체 제조에 사용되는 클린룸 환경에서는 공기 품질이 매우 중요하며, 최고 수준을 유지해야 합니다. 이를 위해 ISO 표준은 공기를 오염 물질 수분, 오일, 미립자의 세 가지 기준으로 분류하고, 7단계 등급으로 나눕니다.
ISO 등급이 낮을수록 공기는 더 깨끗합니다. 특히 Class 0은 수분, 오일, 미립자가 거의 없는 상태를 뜻하며, 건조하고 깨끗한 압축 공기를 제공합니다. 대부분의 산업 분야에서는 Class 0 수준까지 필요하지 않지만, 전자 부문은 예외입니다. 전자 산업에서는 생산 중단 및 제품 오염을 방지하기 위해 공기가 반드시 모든 오염 물질에서 Class 0 수준을 충족해야 합니다. 이는 곧 CDA 품질을 달성하기 위해 세 가지 오염 물질에 대해 모두 완벽히 깨끗한 상태를 유지해야 한다는 것을 의미합니다.
아트라스콥코의 CDA 솔루션
반도체 생산과 클린룸 환경을 보호하기 위한 고품질 공기 시스템
오일 0% 실현
무급유식 컴프레서
수분 0% 달성
흡착식 드라이어
미립자 제거
고성능 필터
CDA 시스템에서 가장 중요한 장비는 깨끗하고 건조한 공기를 제공하는 무급유식 컴프레서입니다.
아트라스콥코는 오일이 포함되지 않은 깨끗한 공기를 안정적이고 효율적으로 공급하는 다양한 무급유식 모델을 제공합니다. 이를 통해 반도체 제조 과정에서 발생할 수 있는 공기 오염을 방지할 수 있으며, 장비 부식을 예방하고 유지보수 비용을 절감하는 데 크게 기여합니다.
압축 공기에서 수분 제거는 반도체 제조에 있어 핵심 요소로, CDA 흡착식 드라이어는 필수적입니다.
이 장비는 -70°C 이하의 압력 이슬점(PDP)을 달성해 공기를 완전히 건조시킵니다. 특히, 아트라스콥코의 흡착식 드라이어는 세계 최초로 고체 압축 공기 제습제 Cerades™를 탑재해 안정적인 성능과 높은 효율성을 제공합니다. 이러한 기술은 반도체 제조 환경에 적합한 완벽한 건조 공기를 보장합니다.
미립자를 제거하기 위해서는 초미세 입자까지 효과적으로 제거하는 다단계 공기 필터 시스템이 필요합니다.
첫 필터는 컴프레서와 드라이어 사이에 설치되어 드라이어를 보호하며, 나머지는 드라이어의 다운스트림에 배치됩니다. 필터 시스템에는 PTFE 멤브레인 필터가 포함되어, 0.01μm 크기의 초미세 입자까지 제거합니다. 이러한 고성능 필터는 모든 오염 물질을 제거하여 깨끗한 공기를 공급합니다.
CDA 공급업체, 아트라스콥코와 함께 완벽한 시스템 구축
아트라스콥코는 반도체 제조에 필요한 깨끗하고 건조한 압축 공기 시스템을 단일 공급업체로부터 제공합니다. 고품질의 고효율 장비를 선택할 수 있을 뿐만 아니라, 컴프레서, CDA 드라이어, 공기 필터가 하나의 통합 시스템으로 최적화되어 작동합니다. 이는 시스템의 호환성을 극대화하고 유지관리 효율을 높이며, 생산성 향상과 비용 절감에 기여합니다.
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