機械魯式助抽泵

堅固耐用並抗腐蝕，且採用先進的軸封技術，製程腔體不會受到機油污染

ZRS 增壓泵具有獨特且獲得專利的流體動能驅動裝置，可將馬達與抽氣機制結合。沒有壓力感應器、旁路管線或閥

流體動能驅動裝置可讓增壓泵與前級泵同時啟動，因為它能防止馬達過載，進而從泵抽氣開始就為抽氣製程提供協助

流體動能驅動裝置會自動改變泵的旋轉速度，保護馬達，避免其發生過載與過熱。這讓泵能在高壓差下運轉

由於您不需要閥、旁路管線和壓力開關，因此可降低資金成本，進而節省安裝與營運費用

ZRS 系列 - 專為大幅提升您的生產力所設計

ZRS 機械增壓泵以簡單的魯式原理為基礎，非常適合需要高抽氣速度以達到 0.01 至 50 mbar 地區壓力的應用。

此泵必須始終得到另一個泵的支援，可以在與大氣壓力的高壓差下輸送。機械增壓泵在相對較低的壓力下運轉時，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性製程介質中，因此非常可靠。

這些泵具備高品質、無油抽氣機制；運轉安靜，無震動；堅固耐用，抗腐蝕；且採用先進的軸封技術，製程腔體不會受到機油污染。

ZRS 1200 及以上皆為水冷式流體動能驅動裝置。馬達符合 EN 60034，節能省電。電壓選項：

機油為 100cSt 碳氫化合物類型。其他機油類型可依特殊要求提供。