Yarı iletken üretimi için vakum çözümleri

Yarı iletken ve elektronik endüstrileri, yeni teknolojilerin ve yeniliklerin rahatlığını yaşamamızı sağlayarak hayatımızı yeniden şekillendiriyor.

Yarı iletken ve elektronik endüstrileri, günlük yaşamımızı dönüştüren teknoloji ve yeniliklerin sürekli gelişmesine katkıda bulunur. Akıllı telefonlar, PC'ler, oyun cihazları ve daha birçok ürün şimdiye kadar geliştirilen en güçlü ve en karmaşık teknoloji parçalarından bazıları. Bu teknolojinin kalbinde küçük bir mikroçip bulunuyor. Küçük olmasına rağmen bu çipler, günümüzde mevcut olan en karmaşık ekipman parçalarından biridir ve bu çiplerin üretimi son derece hassas bir üretim prosesi gerektirir.

Yarı iletken üretimi, sürekli olarak daha yüksek hız ve teknik özellikler gerektiren yeni ürünlerle dünyanın en hızlı gelişen endüstrileri arasındadır. Bu proses, güvenilir ve sabit bir vakum kaynağı gerektirir. Endüstrinin test, tutma, seçme ve yerleştirme ve ambalajlama işlemleri için temiz ve tutarlı bir tesis geneli vakum gereklidir. Bu nedenle, üretim prosesi için doğru vakum pompası çözümünü seçmek çok önemlidir.

Yarı iletken üretiminde vakum ihtiyacı

Tesis Geneli Vakum; işleme, kesme, şekillendirme ve test gibi "entegre devre" üretim proseslerinin tüm seçme ve yerleştirme ve taşıma işlemleri için kullanılır. Bir yarı iletken çipi çok sayıda bileşen içerdiğinden, yarı iletkenlerin ultra hassas şekilde üretilmesi çok önemlidir ve üretimin her adımında vakum kritik önem taşır.

Vakum seviyesi, her ekipmanda doğru seviyeyi sağlamak ve geri akıştan kaynaklanan kirlenmeyi önlemek için 100-400 mbar arasında mutlak basınç değerindedir. Tipik bir yarı iletken fabrikası 2000-8000 m³/sa arasında debi gerektirirken daha büyük bir fabrika için 12000 m³/sa üzerinde debi gerekebilir. Fabrikalar 7/24 çalışır ve tesis geneli vakum sisteminde arıza söz konusu olamaz. Bu nedenle, yedeklilik ve güvenilirlik bir zorunluluktur.

Atlas Copco'dan Yarı İletken Endüstrisi için enerji verimli vakum pompaları

Atlas Copco'nun GHS VSD⁺ vidalı vakum pompası, yarı iletken sektöründe popüler bir seçimdir çünkü VSD⁺ sadece bir "değişken hızlı tahrikten" daha fazlasıdır. GHS VSD⁺, fabrikada tutarlı vakum seviyesi sağlayan tescilli bir mantık kontrol ünitesi ve yazılımı ile donatılmıştır. Akıllı vakum pompamız, sürdürülebilirliği artırmak için çevre üzerindeki etkiyi azaltarak enerji tüketimini önemli ölçüde düşüren çevreci bir yenilik lideridir.

Atlas Copco ayrıca DZS VSD⁺ kuru tırnaklı vakum pompaları ve LRP VSD⁺ sıvı halkalı vakum pompaları için kapsamlı bir ürün serisi de sunar. Dayanıklı ve kendini kanıtlamış tasarımlar, mevcut pompaların doğrudan değiştirilmesi için veya düşük satın alma maliyetinin toplam kullanım ömrü maliyetinden daha önemli olduğu durumlarda daha küçük boyuttaki operasyonlara uygundur. Tüm Atlas Copco vakum pompalarının kapasite aralığı ve VSD⁺ teknolojisi, bunların yarı iletken fabrikalarında bulunan tesis geneli vakum da dahil olmak üzere merkezi vakum sistemleri için ideal olduklarını gösterir.

Atlas Copco'nun yenilikçi yağ tutma sistemlerinden yararlanın

Bir tesis geneli vakum ağında, hava molekülleri vakum pompası yönünde hareket eder ve tasarlanan vakum seviyesinde debinin yoğunluğu hala önemli düzeydedir. Bu nedenle yağ molekülleri ve nem, prosese doğru hareket edemez. Genelde vakum pompaları özel bir hizmet odasında üretim alanlarından uzakta bulunur. Böylece ağın hidrokarbon kirliliği konusunda endişelenmeden pompa teknolojisini seçme özgürlüğü elde edilir. Ancak vakum pompalarının tahliye tarafındaki ortama dikkat edilmelidir.

GHS VSD⁺ yağ sızdırmaz vidalı vakum pompası serisi gibi Atlas Copco vakum pompaları, üstün yağ tutma sistemleriyle donatılmıştır. Gerekirse atmosfere ve fabrika etrafındaki gelişmiş hava sirkülasyonu/filtreleme sistemlerine kir salınmaması için pompa egzozuna ek filtreleme sistemleri takılabilir.

Class 0 sertifikalı kuru teknolojili vakum pompasına ihtiyaç duyulursa Atlas Copco DZS VSD⁺kuru tırnaklı vakum pompası ürün serisi kullanılabilir.

Tutarlı vakum seviyeleri sunma

Eskiden yarı iletken fabrikalarında vakum seviyesindeki büyük dalgalanmalar nedeniyle tesis geneli vakumda sorunlar yaşanıyordu. Geleneksel pompaların performansı, aşınma ve sıcaklık değişiklikleri gibi ortam koşulları nedeniyle düşer.

Atlas Copco'nun GHS VSD⁺ yağ enjeksiyonlu vidalı tasarımı, çevre koşullarından bağımsız olarak tutarlı performans sağlar. Proses için istenen hız her zaman sağlanır. Atlas Copco'nun VSD⁺ teknolojisiyle donatılan GHS VSD⁺, değişen vakum talebini karşılamak için otomatik olarak hızlanır ve yavaşlar, böylece gerekli ayar noktası maksimum verimlilikle korunur.

Akıllı Bağlantı

Atlas Copco VSD⁺ vakum pompaları, en yeni nesil iletişim protokolleri aracılığıyla akıllı bağlantı için tasarlanmıştır ve Endüstri 4.0'a uygundur.

Atlas Copco HEX@™ vakum pompası kontrol ünitesi, pompalarınızı tak ve çalıştır tipi olarak kullanmanızı sağlar ve prosesinizin taleplerine bağlı olarak bunları istediğiniz düzeyde entegre etmenize ve bağlamanıza olanak tanıyarak kullanımınızı bir adım daha ileri taşır. Vakum çözümünü diğer fabrika prosesleriyle sorunsuz bir şekilde entegre eden sistem, servise ihtiyaç duymadan önce tesis sistemleriyle (ve sizinle) iletişim kurar.

Enerji Geri Kazanımı

Bir vakum çözümünün kullandığı elektrik enerjisinin %90'ı ısıya dönüştürülür. Atlas Copco'nun entegre enerji geri kazanımı sistemiyle bu enerjinin %75'i, makinenin performansını etkilemeden sıcak su olarak geri kazanılabilir.

Geri kazanılan enerjinin verimli kullanımı, önemli maliyet tasarrufları ve daha hızlı yatırım getirisi sağlar. Ayrıca ISO 50001/14001'e göre enerji yönetimi ve çevre koruma taahhütlerinizi yerine getirmenize yardımcı olabilir.

Kolay Bakım ve Onarım

Atlas Copco olarak üretim sürekliliğinize önem veriyoruz ve vakum pompalarınızın güvenilir bir şekilde çalışması için neye ihtiyacınız olduğunu biliyoruz. Bu nedenle vakum pompası servis ortağınız olmak istiyoruz. Deneyimli vakum uzmanlarımız, dünyanın neresinde olursanız olun vakum ekipmanlarınızın rutin bakımını, sorun giderme, onarım ve devreye alma işlemlerini gerçekleştirmeye hazırdır ve en iyi uygulama çözümlerini doğrudan size sunar.

Uzman ekiplerimiz, düzenli bakım hizmetleri sunmaktan servis gereksinimlerinize göre uyarlanmış size özel ihtiyaçlarınızı karşılamaya kadar vakum pompalarınızın performansı konusundaki beklentilerinizi aşmamızı sağlar.

Yarı iletken üretimi için vakum pompası portföyümüzü keşfedin

HEX@™ özellikli GHS VSD⁺ vakum pompaları

Devrim niteliğindeki vakum pompası kontrolüne ve bağlantı özelliklerine sahip yeni nesil GHS VSD⁺ değişken hızlı yağ enjeksiyonlu vidalı vakum pompası serisi.

Akıllı Sıvı Halkalı Vakum Pompaları

Sıvı Halka teknolojisindeki yeni büyük atılım olan LRP 700-1000 VSD⁺ serisi yüksek sıcaklıklar, aşırı buhar yükleri, hatta prosesten sıvı ve katı taşıma içeren ıslak, nemli ve kirli uygulamalara mükemmel uyum sağlar.

Tırnaklı Kuru Vakum Pompaları

DZS tasarım pompaları, basitlik, sağlamlık, verimlilik ve kontaminasyon oluşturmayan çalışma özellikleri sayesinde uygulamanız için akıllı bir tercihtir. Tam olarak beklediğiniz standartları ve kaliteyi karşılamak üzere geliştirilen yeni kuru tırnaklı pompa, sorunsuz ve maliyet tasarrufu sağlayan bir çözümle ihtiyaçlarınızı karşılıyor.