Soluções de vácuo para a fabricação de semicondutores

As indústrias de semicondutores e eletrônicos são fundamentais para o desenvolvimento contínuo de tecnologias e inovações que estão transformando nosso dia a dia. Smartphones, PCs, dispositivos de jogos e muito mais são algumas das peças de tecnologia mais potentes e complexas já desenvolvidas. No centro dessa tecnologia está um minúsculo microchip. Apesar de minúsculos, esses chips estão entre os equipamentos mais complexos que existem atualmente e sua fabricação exige um processo de produção altamente sensível. 

A fabricação de semicondutores está entre as indústrias de evolução mais rápidas do mundo, com novos produtos exigindo continuamente velocidades mais rápidas e especificações mais elevadas. Esse processo, por sua vez, precisa de um fornecimento confiável e constante de vácuo. É necessário um sistema de vácuo limpo e consistente para operações de teste, sustentação, coleta e posicionamento, embalagem na indústria. Assim, selecionar a solução de bomba de vácuo certa é crucial para o processo de produção.

A bomba de vácuo de parafuso rotativo GHS VSD⁺ da Atlas Copco é uma escolha popular na indústria de semicondutores, porque o VSD⁺ é mais do que apenas um "acionamento de velocidade variável". A GHS VSD⁺ está equipada com um controlador lógico proprietário e um software que fornecem um nível de vácuo consistente em toda a fábrica. Nossa bomba de vácuo inteligente é líder de inovação ecológica que reduz significativamente o consumo de energia, reduzindo o impacto ambiental para impulsionar a sustentabilidade.

A Atlas Copco também oferece a linha completa de bombas de vácuo com garras a seco DZS VSD⁺ e bombas de vácuo de anel líquido LRP VSD⁺. Seus projetos duráveis e comprovados são adequados para operações de fabricas menores, para substituições diretas de bombas existentes ou onde o menor custo de aquisição é mais importante do que o custo total do ciclo de vida. A faixa de capacidades e a tecnologia VSD⁺ de todas as bombas de vácuo da Atlas Copco significam que elas são ideais para sistemas de vácuo central, incluindo o sistema de vácuo encontrado em fábricas de semicondutores. 

Em uma rede de vácuo, as moléculas de ar viajam na direção da bomba de vácuo e, no nível de vácuo projetado, a densidade do fluxo ainda é considerável. Por essa razão, as moléculas de óleo e umidade não podem migrar para o processo. As bombas de vácuo geralmente estão localizadas longe das instalações de produção em uma sala de utilitários dedicada. Isso dá liberdade para selecionar a tecnologia da bomba sem se preocupar com a contaminação da rede por hidrocarbonetos. No entanto, deve-se prestar atenção ao ambiente no lado de descarga das bombas de vácuo.

As bombas de vácuo da Atlas Copco, como a linha de bombas de vácuo de parafuso rotativo com lubrificação a óleo GHS VSD⁺ são equipadas com sistemas superiores de retenção de óleo. Se necessário, sistemas de filtragem adicionais no escape da bomba podem ser instalados para garantir que nenhuma contaminação seja adicionada à atmosfera e aos sofisticados sistemas de circulação/filtragem de ar ao redor da fábrica.

Se for necessária uma bomba de vácuo de tecnologia seca com certificação Classe 0, a Atlas Copco oferece a linha de produtos de bomba de vácuo com garras a seco DZS VSD⁺ .

Historicamente, as fábricas de semicondutores tinham problemas com o sistema de vácuo devido a grandes flutuações no nível de vácuo. O desempenho das bombas convencionais se degrada devido ao desgaste e às condições ambientais, como variações de temperatura.

O design do parafuso rotativo lubrificado a óleo GHS VSD⁺ da Atlas Copco mantém um desempenho consistente, independentemente das condições ambientais. Qualquer que seja a velocidade desejada para o processo, está sempre disponível. Equipada com tecnologia VSD⁺ da Atlas Copco, a GHS VSD⁺ acelera automaticamente e diminui a velocidade para atender às diferentes necessidades de vácuo, mantendo o ponto de ajuste necessário com a máxima eficiência.