As indústrias de semicondutores e eletrônicos são fundamentais para o desenvolvimento contínuo de tecnologias e inovações que estão transformando nosso dia a dia. Smartphones, PCs, dispositivos de jogos e muito mais são algumas das peças de tecnologia mais potentes e complexas já desenvolvidas. No centro dessa tecnologia está um minúsculo microchip. Apesar de minúsculos, esses chips estão entre os equipamentos mais complexos que existem atualmente e sua fabricação exige um processo de produção altamente sensível.
A fabricação de semicondutores está entre as indústrias de evolução mais rápidas do mundo, com novos produtos exigindo continuamente velocidades mais rápidas e especificações mais elevadas. Esse processo, por sua vez, precisa de um fornecimento confiável e constante de vácuo. É necessário um sistema de vácuo limpo e consistente para operações de teste, sustentação, coleta e posicionamento, embalagem na indústria. Assim, selecionar a solução de bomba de vácuo certa é crucial para o processo de produção.
A necessidade de vácuo na fabricação de semicondutores
O House Vacuum é usado para todas as operações de coleta e posicionamento e manuseio de qualquer processo de fabricação de "circuito integrado", como manuseio, corte, formação, teste etc. Como um chip semicondutor inclui vários componentes, a necessidade de fabricação ultra precisa de semicondutores é essencial e o vácuo é crucial em cada etapa da produção.
O nível de vácuo está entre 100 e 400 mbar abs. para garantir o nível correto em todos os equipamentos e para garantir que não haja contaminação por refluxo. Uma fábrica típica de semicondutores pode exigir um fluxo de 2000 a 8000 m3/h, mas uma fábrica maior pode exigir mais de 12000 m3/h. As fábricas operam 24 horas por dia e 7 dias por semana e o sistema de vácuo não pode falhar. Portanto, redundância e confiabilidade são essenciais.
Bombas de vácuo energeticamente eficientes da Atlas Copco para a indústria de semicondutores
A bomba de vácuo de parafuso rotativo GHS VSD⁺ da Atlas Copco é uma escolha popular na indústria de semicondutores, porque o VSD+ é mais do que apenas um "acionamento de velocidade variável". A GHS VSD+ está equipada com um controlador lógico proprietário e um software que fornecem um nível de vácuo consistente em toda a fábrica. Nossa bomba de vácuo inteligente é líder de inovação ecológica que reduz significativamente o consumo de energia, reduzindo o impacto ambiental para impulsionar a sustentabilidade.
A Atlas Copco também oferece a linha completa de bombas de vácuo com garras a seco DZS VSD+ e bombas de vácuo de anel líquido LRP VSD+. Seus projetos duráveis e comprovados são adequados para operações de fabricas menores, para substituições diretas de bombas existentes ou onde o menor custo de aquisição é mais importante do que o custo total do ciclo de vida. A faixa de capacidades e a tecnologia VSD+ de todas as bombas de vácuo da Atlas Copco significam que elas são ideais para sistemas de vácuo central, incluindo o sistema de vácuo encontrado em fábricas de semicondutores.
Beneficie-se dos inovadores sistemas de retenção de óleo da Atlas Copco
Em uma rede de vácuo, as moléculas de ar viajam na direção da bomba de vácuo e, no nível de vácuo projetado, a densidade do fluxo ainda é considerável. Por essa razão, as moléculas de óleo e umidade não podem migrar para o processo. As bombas de vácuo geralmente estão localizadas longe das instalações de produção em uma sala de utilitários dedicada. Isso dá liberdade para selecionar a tecnologia da bomba sem se preocupar com a contaminação da rede por hidrocarbonetos. No entanto, deve-se prestar atenção ao ambiente no lado de descarga das bombas de vácuo.
As bombas de vácuo da Atlas Copco, como a linha de bombas de vácuo de parafuso rotativo com lubrificação a óleo GHS VSD+ são equipadas com sistemas superiores de retenção de óleo. Se necessário, sistemas de filtragem adicionais no escape da bomba podem ser instalados para garantir que nenhuma contaminação seja adicionada à atmosfera e aos sofisticados sistemas de circulação/filtragem de ar ao redor da fábrica.
Se for necessária uma bomba de vácuo de tecnologia seca com certificação Classe 0, a Atlas Copco oferece a linha de produtos de bomba de vácuo com garras a seco DZS VSD+ .
Fornecimento de níveis de vácuo consistentes
Historicamente, as fábricas de semicondutores tinham problemas com o sistema de vácuo devido a grandes flutuações no nível de vácuo. O desempenho das bombas convencionais se degrada devido ao desgaste e às condições ambientais, como variações de temperatura.
O design do parafuso rotativo lubrificado a óleo GHS VSD+ da Atlas Copco mantém um desempenho consistente, independentemente das condições ambientais. Qualquer que seja a velocidade desejada para o processo, está sempre disponível. Equipada com tecnologia VSD+ da Atlas Copco, a GHS VSD+ acelera automaticamente e diminui a velocidade para atender às diferentes necessidades de vácuo, mantendo o ponto de ajuste necessário com a máxima eficiência.
