ปิด
integrated microchip image

โซลูชั่นสุญญากาศสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์นั้นกำลังทำให้ชีวิตของเราเปลี่ยนไปอย่างสิ้นเชิง ด้วยการช่วยให้เราได้รับความสะดวกสบายจากเทคโนโลยีและนวัตกรรมใหม่ๆ

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอิเล็กทรอนิกส์นั้นมีความสำคัญต่อการพัฒนาเทคโนโลยีและนวัตกรรมอย่างต่อเนื่องที่จะทำให้ชีวิตของเราเปลี่ยนไปอย่างสิ้นเชิง สมาร์ทโฟน, พีซี, อุปกรณ์การเล่นเกมและอีกมากนั้นเป็นตัวอย่างของเทคโนโลยีที่ทรงพลังและซับซ้อนที่สุดเท่าที่เคยพัฒนาขึ้นมา ซึ่งมีหัวใจคือไมโครชิปขนาดเล็ก แม้ว่าจะมีขนาดเล็ก ชิปเหล่านี้เป็นหนึ่งในอุปกรณ์ที่มีความซับซ้อนที่สุดในอุปกรณ์ทุกอย่างที่เคยมีมา และต้องใช้กระบวนการที่มีความไวสูงในขั้นตอนการผลิต 

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์นั้นเป็นหนึ่งในอุตสาหกรรมที่เติบโตเร็วที่สุดของโลก โดยผลิตภัณฑ์ใหม่ๆ ต่างก็ต้องการความเร็วและสเปกที่สูงขึ้นอย่างต่อเนื่อง ซึ่งมีความจำเป็นต้องใช้ระบบจ่ายสุญญากาศที่น่าเชื่อถือและสม่ำเสมอ ต้องใช้สุญญากาศที่สะอาดและสม่ำเสมอสำหรับการทดสอบ, การถือ, การหยิบยกชิ้นงาน, การบรรจุภายในอุตสาหกรรม ดังนั้น การเลือกโซลูชั่นปั๊มสุญญากาศที่เหมาะสมจึงเป็นสิ่งสำคัญสำหรับกระบวนการผลิต

ความต้องการสุญญากาศในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

จะใช้สุญญากาศในการหยิบยกและดำเนินการกับชิ้นงานทั้งหมดในกระบวนการผลิต “วงจรรวม” ใดๆ เช่น การจัดการ, การตัด, การขึ้นรูป, การทดสอบ ฯลฯ เนื่องจากว่าชิปเซมิคอนดักเตอร์ชิปหนึ่งนั้นประกอบด้วยชิ้นส่วนจำนวนมาก การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ความเที่ยงตรงสูงและสุญญากาศจึงเป็นสิ่งสำคัญในทุกขั้นตอนการผลิต

 

ระดับสุญญากาศนั้นอยู่ระหว่าง 100 และ 400 mbar abs เพื่อให้อุปกรณ์ทุกชิ้นมีระดับที่เหมาะสม และเพื่อไม่ให้เกิดการปนเปื้อนจากการไหลย้อนกลับ โรงงานเซมิคอนดักเตอร์โดยทั่วไปนั้นอาจต้องใช้การไหลตั้งแต่ 2000 ถึง 8000 m3/h แต่โรงงานขนาดใหญ่กว่าอาจต้องการมากกว่า 12000 m3/h โรงงานที่ดำเนินงานทุกวันตลอด 24 ชั่วโมงนั้นไม่อาจสูญเสียการทำงานระบบสุญญากาศได้ ดังนั้น ระบบสำรองและความน่าเชื่อถือจึงจำเป็นอย่างยิ่ง

ปั๊มสุญญากาศที่ประหยัดพลังงานจาก Atlas Copco สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ปั๊มสุญญากาศสกรูโรตารี่ GHS VSD⁺ ของ Atlas Copco นั้นเป็นตัวเลือกที่ได้รับความนิยมในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ นั่นก็เพราะ VSD+ นั้นเป็นมากกว่า “ตัวปรับความเร็วรอบมอเตอร์” GHS VSD+ นั้นมีตัวควบคุมตรรกะและซอฟต์แวร์ที่จะให้ระดับสุญญากาศที่สม่ำเสมอทั่วทั้งโรงงาน ปั๊มสุญญากาศอัจฉริยะของเรานั้นเป็นผู้นำนวัตกรรมที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมที่จะช่วยลดการใช้พลังงานลงเป็นอย่างมาก ซึ่งจะช่วยลดผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อม เพื่อที่จะขับเคลื่อนความยั่งยืน

Atlas Copco ยังให้บริการกลุ่มผลิตภัณฑ์ปั๊มสุญญากาศใบพัดกรงเล็บ DZS VSD+ และ ปั๊มสุญญากาศแบบวงแหวน LRP VSD+ การออกแบบที่ทนทาน และผ่านการพิสูจน์ของเครื่องเหล่านี้นั้นเหมาะกับโรงงานขนาดเล็ก เพื่อทดแทนปั๊มที่มีอยู่โดยตรง หรือในกรณีที่ให้ความสำคัญกับราคาซื้อที่ถูกกว่าต้นทุนตลอดอายุการใช้งานทั้งหมด ช่วงความจุและเทคโนโลยี VSD+ ของปั๊มสุญญากาศทั้งหมดของ Atlas Copco หมายความว่าพวกมันเหมาะกับระบบสุญญากาศกลาง รวมไปถึงระบบที่พบได้ในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์ 

คุณประโยชน์ของระบบเก็บน้ำมันอันเป็นนวัตกรรมของ Atlas Copco

ในเครือข่ายระบบสุญญากาศ โมเลกุลอากาศจะเดินทางตามทิศทางของปั๊มสุญญากาศ และที่ระดับของสุญญากาศที่ออกแบบมานั้น จะยังให้ความหนาแน่นของการไหลที่เหมาะสม ด้วยเหตุนี้ จึงทำให้โมเลกุลน้ำมันและความชื้นไม่สามารถเดินทางเข้าสู่กระบวนการ ปั๊มสุญญากาศจึงมักตั้งอยู่ไกลจากโถงผลิตอยู่ภายในห้องเอนกประสงค์เฉพาะ ซึ่งจะช่วยให้สามารถเลือกเทคโนโลยีของปั๊มได้อย่างอิสระโดยไม่ต้องกังวลเกี่ยวกับการปนเปื้อนของไฮโดรคาร์บอนภายในเครือข่าย ควรให้ความใส่ใจกับสภาพแวดล้อมที่ฝั่งทางออกของปั๊มสุญญากาศ

ปั๊มสุญญากาศ Atlas Copco เช่น กลุ่มผลิตภัณฑ์ปั๊มสุญญากาศสกรูโรตารี่ GHS VSD+ นั้นมีระบบเก็บกักน้ำมันที่เหนือกว่า ถ้าต้องการ สามารถติดตั้งระบบการกรองเพิ่มเติมได้ที่ไอเสียของปั๊ม เพื่อให้แน่ใจว่าจะไม่เกิดความปนเปื้อนต่อบรรยากาศ และระบบการไหลเวียน/การกรองอากาศที่ซับซ้อนที่อยู่รอบๆ โรงงาน

 

ถ้าต้องการปั๊มสุญญากาศเทคโนโลยีแบบแห้งที่ได้รับการรับรอง Class 0 Atlas Copco ขอนำเสนอผลิตภัณฑ์ ปั๊มสุญญากาศใบพัดกรงเล็บแบบแห้ง DZS VSD+

ให้ระดับสุญญากาศที่สม่ำเสมอ

เดิมทีนั้น โรงงานเซมิคอนดักเตอร์เคยมีปัญหากับระบบสุญญากาศจากความผันผวนของระดับสุญญากาศในปริมาณมาก ปั๊มแบบปกติจะมีประสิทธิภาพที่เสื่อมลงจากความสึกหรอและสภาวะแวดล้อม เช่น อุณหภูมิที่ผันแปร

 

สกรูโรตารี่ชนิดหล่อลื่นด้วยน้ำมัน GHS VSD+ ของ Atlas Copco นันถูกออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพที่เสมอต้นเสมอปลายในทุกสภาพแวดลอม ตอบสนองได้ทุกความเร็วที่กระบวนการต้องใช้ เครื่องรุ่นนี้มาพร้อมกับเทคโนโลยี VSD+ ของ Atlas Copco, GHS VSD+ จะปรับความเร็วโดยอัตโนมัติให้สัมพันธ์กับความต้องการสุญญากาศที่แปรผัน จึงช่วยรักษาไว้ซึ่งจุดที่ตั้งไว้ด้วยประสิทธิภาพสูงสุด

การเชื่อมต่ออัจฉริยะ

ปั๊มสุญญากาศ Atlas Copco VSD+ นั้นถูกออกแบบมาให้มีการเชื่อมต่อที่ชาญฉลาดผ่านโปรโตคอลการสื่อสารรุ่นล่าสุด ทำให้พร้อมสำหรับอุตสาหกรรม 4.0

ตัวควบคุมปั๊มสุญญากาศ HEX@™ ของ Atlas Copco ช่วยให้ปั๊มของคุณรองรับการทำงานแบบ Plug & Play อย่างสมบูรณ์แบบ และก้าวนำไปอีกขั้นด้วยการช่วยให้คุณสามารถผสานรวมและเชื่อมต่อได้ในระดับที่คุณต้องการ อิงกับความต้องการของกระบวนการของคุณ โดยจะผสานรวมโซลูชั่นสุญญากาศเข้ากับกระบวนการผลิตทั้งหมดอย่างราบรื่น และสื่อสารให้ระบบของโรงงาน (และคุณ) ทราบก่อนจำเป็นที่จะซ่อมบำรุง

การนำพลังงานกลับมาใช้ใหม่

พลังงานไฟฟ้าที่โซลูชั่นสุญญากาศใช้มากถึง 90% จะถูกแปลงเป็นความร้อน ระบบการนำพลังงานกลับมาใช้ใหม่ในตัวของ Atlas Copco จะช่วยนำพลังงานนั้นกลับมาได้มากถึง 75% ในรูปของน้ำร้อน โดยไม่ส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพของเครื่อง

การใช้พลังงานที่นำกลับมาใช้ใหม่อย่างมีประสิทธิภาพนั้นจะช่วยประหยัดต้นทุนได้เป็นอย่างมากและ ROI ได้รวดเร็วยิ่งขึ้น และมันจะช่วยคุณเติมเต็มความมุ่งมั่นในการบริหารจัดการพลังงานและสิ่งแวดล้อมตาม ISO 50001/14001

การบำรุงรักษา & การซ่อมแซมที่ง่ายดาย

Atlas Copco ใส่ใจในความต่อเนื่องในการผลิตของคุณ และเข้าใจความจำเป็นของคุณเพื่อให้ ปั๊มสุญญากาศของคุณทำงานอย่างน่าเชื่อถือ นั่นคือเหตุที่เราต้องการที่จะเป็น คู่ค้าผู้ให้บริการปั๊มสุญญากาศ ของคุณ ผู้เชี่ยวชาญด้านสุญญากาศที่มากประสบการณ์ของเราพร้อมสำหรับการบำรุงรักษา การแก้ปัญหา การซ่อมแซม และการติดตั้งเครื่องสุญญากาศของคุณทุกที่ทั่วโลก นำโซลูชั่นแนวปฏิบัติที่ดีที่สุดมาให้คุณ

ตั้งแต่การบำรุงรักษาตามปกติ ไปจนถึงการแก้ปัญหาให้ตรงกับความต้องการใช้งานของคุณ ทีมผู้เชี่ยวชาญของเรามั่นใจว่าจะให้บริการได้เหนือความคาดหมายในด้านประสิทธิภาพของปั๊มสุญญากาศของคุณ

สำรวจกลุ่มผลิตภัณฑ์ปั๊มสุญญากาศสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของเรา