Løsninger for produksjon av halvledere

Halvledere- og elektronikkindustrien forvandler livene våre ved å gi oss muligheten til å nyte komforten av ny teknologi og innovasjoner.

Halvleder- og elektronikkindustrien er avgjørende for den fortsatte utviklingen av teknologier og innovasjoner som forvandler dagliglivet vårt. Smarttelefoner, PC-er, spillenheter med mer er noen av de kraftigste og mest intrikate teknologiene som noensinne er utviklet. Kjernen i denne teknologien er en knøttliten mikrobrikke. Til tross for at de er små, er disse brikkene noe av det mest komplekse utstyret som eksisterer i dag, og produksjon av dem krever en produksjonsprosess som er svært sensitiv.

Halvlederproduksjon er blant de raskest voksende bransjene i verden i dag, med nye produkter som kontinuerlig krever raskere hastigheter og høyere spesifikasjoner. Denne prosessen trenger i sin tur en pålitelig og jevn tilførsel av vakuum. Det kreves rent, konsekvent anleggsvakuum for operasjoner for testing, holding, henting og plassering og emballasje i bransjen. Derfor er valg av riktig vakuumpumpeløsning avgjørende for produksjonsprosessen.

Behovet for vakuum i produksjon av halvledere

Anleggsvakuum brukes for alle operasjoner for henting og plassering og håndtering av alle produksjonsprosesser for integrerte kretser, som håndtering, kutting, forming, testing osv. Siden en halvlederbrikke inneholder mange komponenter, er behovet for ultrapresis produksjon av halvledere essensielt, og vakuum er avgjørende i hvert trinn av produksjonen.

Vakuumnivået er mellom 100 og 400 mbar abs. for å sikre riktig nivå på hvert utstyr og for å sikre at det ikke er noen forurensning fra gjennomstrømning. En typisk halvlederfabrikk kan kreve en strøm fra 2000 til 8000 m³/t, men større kan kreve mer enn 12 000 m ³/t. Fabrikker er i drift døgnet rundt hver dag, og anleggsvakuum kan ikke svikte. Derfor er redundans og pålitelighet et krav.

Energieffektive vakuumpumper fra Atlas Copco for halvlederindustrien

Atlas Copcos GHS VSD⁺ roterende skruevakuumpumpe er et populært valg i halvlederindustrien fordi VSD⁺ er mer enn bare en «drivenhet med variabel hastighet». GHS VSD⁺ er utstyrt med en patentert logisk styreenhet og programvare som leverer konsistent vakuumnivå gjennom hele fabrikken. Vår intelligente vakuumpumpe er en grønn innovasjonsleder som kutter energiforbruket betydelig og reduserer miljøpåvirkningen for å drive bærekraft.

Atlas Copco tilbyr også det komplette utvalget av DZS VSD⁺ tørre vakuumpumper med klo og LRP VSD⁺ væskeringsvakuumpumper. Deres holdbare, velprøvde design er godt egnet for operasjoner på mindre fabrikker, for direkte utskifting av eksisterende pumper, eller der lavere anskaffelseskostnader betyr mer enn totale levetidskostnader. Kapasitetsområdet og VSD⁺-teknologien til alle Atlas Copco-vakuumpumper betyr at de er ideelle for sentralvakuumsystemer, inkludert anleggsvakuum som finnes i halvlederfabrikker.

Dra nytte av Atlas Copcos innovative systemer for tilbakeholding av olje

I et anleggsvakuumnettverk beveger luftmolekylene seg i retning av vakuumpumpen, og på det planlagte vakuumnivået er tettheten til strømmen fortsatt betydelig. Av denne grunn kan ikke oljemolekyler og fuktighet migrere mot prosessen. Vakuumpumper er ofte plassert langt fra produksjonshallene i et eget utstyrsrom. Dette gir frihet til å velge pumpeteknologien uten å bekymre seg for hydrokarbonforurensning i nettverket. Vær imidlertid oppmerksom på miljøet på utløpssiden av vakuumpumpene.

Atlas Copco-vakuumpumper som GHS VSD⁺ oljeforseglet roterende skruevakuumpumpe er utstyrt med overlegne systemer for tilbakeholding av olje. Ved behov kan ytterligere filtreringssystemer ved pumpeavløpet monteres for å sikre at ingen forurensning tilføres atmosfæren og sofistikerte luftsirkulasjons-/filtreringssystemer rundt fabrikken.

Hvis behovet er for en klasse 0-sertifisert tørrvakuumpumpe, tilbyr Atlas Copco produktserien DZS VSD⁺tørre vakuumpumper med klo.

Leverer konsistente vakuumnivåer

Halvlederfabrikker hadde tradisjonelt problemer med anleggsvakuumet på grunn av store svingninger i vakuumnivået. Ytelsen til konvensjonelle pumper brytes ned på grunn av slitasje og miljøforhold som temperaturvariasjoner.

Atlas Copcos GHS VSD⁺ oljesmurte roterende skruekonstruksjon opprettholder konsistent ytelse uavhengig av miljøforhold. Enhver hastighet som ønskes for prosessen, er alltid tilgjengelig. GHS VSD⁺ er utstyrt med Atlas Copcos VSD⁺-teknologi, og øker og reduserer automatisk hastigheten avhengig av det varierende vakuumbehovet og opprettholder det innstilte settpunktet med maksimal effektivitet.

Smarte tilkoblingsmuligheter

Atlas Copco VSD⁺-vakuumpumper er utviklet for smart tilkobling via den nyeste generasjonen kommunikasjonsprotokoller, og derfor er den klar for Industri 4.0.

Atlas Copcos HEX@™-styreenheten for vakuumpumper gjør at pumpene dine virkelig er klare for plug and play, og går et skritt videre ved at du kan integrere og koble dem til det nivået du trenger, basert på kravene i prosessen din. Den integrerer vakuumløsningen sømløst med resten av fabrikkprosessene og kommuniserer med anleggssystemene (og deg) før den trenger service.

Energigjenvinning

Så mye som 90 % av den elektriske energien som brukes av en vakuumløsning, omdannes til varme. Med Atlas Copcos integrerte energigjenvinningssystem kan opptil 75 % av energien gjenvinnes som varmt vann uten at det påvirker maskinens ytelse.

Effektiv bruk av gjenvunnet energi gir viktige kostnadsbesparelser og raskere avkastning på investeringen, og det kan hjelpe deg med å oppfylle dine energistyrings- og miljøforpliktelser i henhold til ISO 50001/14001.

Enkelt vedlikehold og reparasjon

Hos Atlas Copco bryr vi oss om produksjonskontinuiteten din og vet hva du trenger for at vakuumpumpene dine skal fungere pålitelig. Det er derfor vi ønsker å være din partner for vakuumpumpeservice. De erfarne vakuumspesialistene våre står klare til å utføre rutinemessig vedlikehold, feilsøking, reparasjon og igangkjøring av vakuumutstyret ditt hvor som helst i verden, slik at du får de beste løsningene levert direkte til deg.

Ekspertene i teamet vårt tar seg av det regelmessige vedlikeholdet og skreddersyr vedlikeholdet til akkurat dine servicebehov. Dette for å sikre at pumpene møter dine forventninger.

Utforsk vår portefølje av vakuumpumper for produksjon av halvledere

GHS VSD⁺-vakuumpumper med HEX@™

Neste generasjons GHS VSD⁺-serie med skrue vakuumpumper med variabel hastighet som drives av oljeinnsprøytning, med revolusjonerende vakuumpumpekontroll og tilkoblingsmuligheter.

Intelligent væskeringvakuumpumpe

LRP 700–1000 VSD+ serien, det neste store steget innen væskeringteknologi, er perfekt for våte, fuktige og skitne bruksområder med høye temperaturer, ekstrem vanndamp og til og med rester av væske og faste stoffer fra prosessen.

Vakuumpumper med tørr klo

DZS-pumpenes enkelhet, robusthet, effektivitet og håndteringsevne for forurensende stoffer, gjør dem til det smarteste valget for ditt bruksområde. Den nye tørre klopumpen er laget nøyaktig i henhold til dine standarder og kvalitet og gir en problemfri og kostnadseffektiv løsning.