Vacuümoplossingen voor de productie van halfgeleiders

De halfgeleider- en elektronica-industrie hebben grote invloed op ons leven door ons te laten genieten van het comfort van nieuwe technologieën en innovaties.

De halfgeleider- en elektronica-industrie zijn essentieel voor de voortdurende ontwikkeling van technologieën en innovaties die ons dagelijks leven transformeren. Smartphones, pc's, gaming-devices en meer zijn enkele van de krachtigste en meest complexe technologische onderdelen die ooit zijn ontwikkeld. De kern van deze technologie is een kleine microchip. Ondanks het feit dat deze chips minuscuul zijn, behoren ze tot de meest complexe apparaten die momenteel bestaan en voor de productie ervan is een zeer gevoelig productieproces vereist.

De productie van halfgeleiders behoort tot de snelst evoluerende industrieën ter wereld, waarbij nieuwe producten continu hogere snelheden en hogere specificaties vereisen. Dit proces vereist weer een betrouwbare en stabiele toevoer van vacuüm. Voor het testen, vasthouden, pick-and-place en verpakken binnen de industrie is een schoon, consistent vacuüm in huis vereist. Daarom is het kiezen van de juiste vacuümpompoplossing cruciaal voor het productieproces.

De behoefte aan vacuüm bij de productie van halfgeleiders

Vacuüm in huis wordt gebruikt voor alle pick-and-place-handelingen en elke handeling in een productieproces dat "geïntegreerde schakelingen" omvat, zoals verwerken, snijden, vormen en testen enz. Aangezien een halfgeleiderchip meerdere componenten bevat, is de behoefte aan uiterst nauwkeurige fabricage van halfgeleiders essentieel en is vacuüm cruciaal in elke stap van de productie.

Het vacuümniveau ligt tussen 100 en 400 mbar abs. om het juiste niveau te waarborgen voor alle apparatuur en om te zorgen dat er geen verontreiniging door terugstroming optreedt. Voor een typische halfgeleiderfabriek kan een debiet van 2000 tot 8000 m³/h nodig zijn, maar voor een grotere is mogelijk meer dan 12000 m³/h vereist. Fabrieken werken 24/7 en vacuüm in huis mag niet uitvallen. Redundantie en betrouwbaarheid zijn daarom een must.

Energiezuinige vacuümpompen van Atlas Copco voor de halfgeleiderindustrie

De GHS VSD⁺-schroefvacuümpomp van Atlas Copco is een populaire keuze in de halfgeleiderindustrie, omdat VSD⁺ meer is dan alleen een "variabele toerentalaandrijving". De GHS VSD⁺ is uitgerust met een gepatenteerde logische besturing en software die een consistent vacuümniveau in de gehele fabriek bieden. Onze intelligente vacuümpomp is een innovatieve, groene marktleider die het energieverbruik aanzienlijk verlaagt en de impact op het milieu vermindert om duurzaamheid te stimuleren.

Atlas Copco biedt ook de complete serie DZS VSD⁺ droge klauwenvacuümpompen en LRP VSD⁺ vloeistofring-vacuümpompen. Door hun duurzame, beproefde ontwerp zijn deze pompen zeer geschikt voor kleinere fabrieksactiviteiten, voor directe vervanging van bestaande pompen of waar lagere aanschafkosten meer van belang zijn dan de totale levenscycluskosten. Dankzij het capaciteitsbereik en de VSD⁺ technologie van alle vacuümpompen van Atlas Copco zijn ze ideaal voor centrale vacuümsystemen, inclusief het vacuüm in de halfgeleiderindustrie.

Profiteer van Atlas Copco's innovatieve olieopvangsystemen

In een vacuüm-in-huis-netwerk bewegen de luchtmoleculen in de richting van de vacuümpomp en op het ontworpen vacuümniveau is de dichtheid van het debiet nog steeds aanzienlijk. Daarom kunnen oliemoleculen en vocht niet migreren in de richting van het proces. Vacuümpompen staan vaak ver van de productiehallen in een speciale utiliteitsruimte. Dit biedt de vrijheid om pomptechnologie te kunnen kiezen zonder dat men zich zorgen hoeft te maken over verontreiniging van het netwerk met koolwaterstoffen. Er moet echter wel aandacht worden besteed aan de omgeving aan de drukzijde van de vacuümpompen.

Vacuümpompen van Atlas Copco, zoals de serie GHS VSD⁺ oliegesmeerde schroefvacuümpompen, zijn uitgerust met superieure olieopvangsystemen. Indien nodig kunnen extra filtersystemen bij de pompuitlaat worden aangebracht om ervoor te zorgen dat er geen verontreiniging terecht komt in de atmosfeer en geavanceerde luchtcirculatie-/filtersystemen rondom de fabriek.

Als er behoefte is aan een Klasse 0-gecertificeerde vacuümpomp met droge technologie, biedt Atlas Copco de DZS VSD⁺ droge klauwenvacuümpompen.

Levering van consistente vacuümniveaus

Halfgeleiderfabrieken hadden van oudsher problemen met hun vacuüm in huis door grote schommelingen in het vacuümniveau. De prestaties van conventionele pompen nemen af als gevolg van slijtage en omgevingsomstandigheden zoals temperatuurschommelingen.

Het ontwerp van Atlas Copco's GHS VSD⁺ oliegesmeerde schroefcompressor zorgt voor consistente prestaties, ongeacht de omgevingsomstandigheden. De snelheid die voor het proces gewenst is, is altijd beschikbaar. De GHS VSD⁺ is uitgerust met de VSD⁺-technologie van Atlas Copco en versnelt en vertraagt automatisch om te voldoen aan de variërende vraag naar vacuüm, waardoor het vereiste instelpunt met maximale efficiëntie wordt gehandhaafd.

Slimme connectiviteit

De VSD⁺-vacuümpompen van Atlas Copco zijn ontworpen voor slimme connectiviteit via de nieuwste generatie communicatieprotocollen, waardoor ze klaar zijn voor Industry 4.0.

De HEX@™-vacuümpompbesturing van Atlas Copco maakt uw pompen echt plug-and-play en voegt een nieuwe dimensie toe omdat u ze kunt integreren en aansluiten op het niveau dat u nodig hebt, op basis van de eisen van uw proces. De vacuümoplossing kan naadloos worden geïntegreerd met de rest van de processen en communiceert met installatiesystemen (en met u) voordat onderhoud nodig is.

Warmteterugwinning

Tot wel 90% van de elektrische energie die door een vacuümoplossing wordt gebruikt, wordt omgezet in warmte. Met het geïntegreerde energieterugwinningssysteem van Atlas Copco kan tot 75% van die energie worden teruggewonnen in de vorm van warm water, zonder dat dit invloed heeft op de prestaties van de machine.

Efficiënt gebruik van de teruggewonnen energie zorgt voor belangrijke kostenbesparingen en een sneller rendement, en kan u helpen te voldoen aan uw energiemanagement- en milieuverplichtingen conform ISO 50001/14001.

Eenvoudig onderhouden & repareren

Bij Atlas Copco staat continuïteit van uw productie voorop en wij weten wat u nodig hebt om uw vacuümpompen betrouwbaar te laten werken. Daarom willen wij uw servicepartner voor vacuümpompen zijn. Onze ervaren vacuümspecialisten staan klaar om routineonderhoud, storingzoeken, reparatie en inbedrijfstelling van uw vacuümapparatuur overal ter wereld uit te voeren, zodat u de beste oplossingen direct kunt vinden.

Onze deskundige teams zorgen ervoor dat we uw verwachtingen op het gebied van de prestaties van uw vacuümpompen overtreffen, van het leveren van regelmatige onderhoudsservices tot het voldoen aan uw specifieke behoeften.

Ontdek ons assortiment vacuümpompen voor de productie van halfgeleiders

GHS VSD⁺-vacuümpompen met HEX@™

Nieuwe generatie GHS VSD⁺-serie oliegeïnjecteerde schroefvacuümpompen met variabel toerental, revolutionaire vacuümpompregeling en connectiviteit.

Intelligente vloeistofring-vacuümpomp

De volgende grote stap in de vloeistofring-technologie is de LRP 700-1000 VSD⁺-serie, uitermate geschikt voor natte, vochtige en vuile toepassingen met hoge temperaturen, extreme dampbelastingen en zelfs meesleping van vloeistof en vaste stoffen uit het proces.

Droge klauwenvacuümpompen

De eenvoud, robuustheid, efficiëntie en het feit dat de DZS-vacuümpompen met verontreinigingen kunnen omgaan, maken ze de slimme keuze voor uw toepassing. Gebouwd om te voldoen aan uw exacte standaarden en kwaliteit biedt de nieuwe droge-klauwenpomp een probleemloze en voordelige oplossing.