Vakuumlösungen für die Halbleiterfertigung

Die Halbleiter- und Elektronikbranche ist ein wesentlicher Bestandteil der anhaltenden Entwicklung von Technologien und Innovationen, die unser tägliches Leben verändern. Smartphones, PCs, Spielkonsolen und mehr gehören zu den leistungsfähigsten und kompliziertesten Technologien, die jemals entwickelt wurden. Das Herzstück dieser Technologie ist ein winziger Mikrochip. Obwohl diese Chips sehr klein sind, gehören sie zu den komplexesten Systemen, die es heute gibt, und werden in einem hochempfindlichen Produktionsprozess hergestellt. 

Die Halbleiterfertigung gehört zu den sich weltweit am schnellsten entwickelnden Branchen, da neue Produkte ständig höhere Geschwindigkeiten und bessere Spezifikationen erfordern. Dieser Prozess erfordert wiederum eine zuverlässige und stabile Vakuumversorgung. Für Tests, Halten, Bestückung und Verpackung ist in der Branche ein sauberes und stabiles Hausvakuum erforderlich. Daher ist die Auswahl der richtigen Vakuumpumpenlösung für den Produktionsprozess von entscheidender Bedeutung.

Die Schraubenvakuumpumpe GHS VSD⁺ von Atlas Copco ist eine beliebte Wahl in der Halbleiterbranche, da VSD⁺ mehr als nur eine „variable Drehzahlregelung“ bietet. Die GHS VSD⁺ ist mit einer proprietären speicherprogrammierbaren Steuerung und Software ausgestattet, die ein konstantes Vakuumniveau in der gesamten Fertigungsstätte bereitstellt. Unsere intelligente Vakuumpumpe ist ein umweltfreundlicher Vorreiter, der den Energieverbrauch erheblich senkt und die Umweltauswirkungen reduziert, um die Nachhaltigkeit zu fördern.

Atlas Copco bietet außerdem ein umfassendes Sortiment an trockenverdichtenden Klauenvakuumpumpen DZS VSD⁺ und Flüssigkeitsringvakuumpumpen LRP VSD⁺. Ihre langlebigen, bewährten Konstruktionen eignen sich gut für kleinere Fertigungsbetriebe, für den direkten Austausch von vorhandenen Pumpen oder für Anwendungen, bei denen niedrigere Anschaffungskosten wichtiger als die Lebenszykluskosten sind. Dank des Kapazitätsbereichs und der VSD⁺-Technologie sind alle Vakuumpumpen von Atlas Copco ideal für zentrale Vakuumsysteme, einschließlich des Hausvakuums in Halbleiterfabriken, geeignet. 

In einem Hausvakuumnetz bewegen sich die Luftmoleküle in Richtung der Vakuumpumpe, und beim vorgesehenen Vakuumniveau ist der Volumenstrom noch erheblich. Aus diesem Grund können Ölmoleküle und Feuchtigkeit nicht in Richtung des Prozesses migrieren. Vakuumpumpen befinden sich oft weit von den Produktionshallen entfernt in einem speziellen Versorgungsraum. So können Sie die Pumpentechnologie wählen, ohne sich Gedanken über die Verunreinigung des Netzes durch Kohlenwasserstoffe machen zu müssen. Auf die Umgebung auf der Druckseite der Vakuumpumpen sollte jedoch geachtet werden.

Vakuumpumpen von Atlas Copco wie die ölgedichteten Schraubenvakuumpumpen der Serie GHS VSD⁺ sind mit erstklassigen Ölrückhaltesystemen ausgestattet. Bei Bedarf können zusätzliche Filtersysteme am Pumpenauslass eingebaut werden, um sicherzustellen, dass die Atmosphäre und die anspruchsvollen Umluft-/Filtersysteme der Fabrik nicht verschmutzt werden.

Wenn Sie eine Vakuumpumpe mit zertifizierter trockenverdichtender Technologie der Klasse 0 benötigen, bietet Atlas Copco trockenverdichtende Klauenvakuumpumpen der Baureihe DZS VSD⁺ an.

Halbleiterfabriken hatten in der Vergangenheit Probleme mit ihrem Hausvakuum aufgrund von starken Schwankungen des Vakuumniveaus. Die Leistung herkömmlicher Pumpen nimmt aufgrund von Verschleiß und Umgebungsbedingungen wie Temperaturschwankungen im Laufe der Zeit ab.

Die ölgeschmierte Schraubenkonstruktion der GHS VSD⁺ von Atlas Copco sorgt für gleichbleibende Leistung unabhängig von den Umgebungsbedingungen. Die für den Prozess ideale Geschwindigkeit ist immer verfügbar. Mit der VSD⁺-Technologie von Atlas Copco wird die GHS VSD⁺ automatisch schneller und langsamer, um den schwankenden Vakuumbedarf zu erfüllen und den erforderlichen Sollwert mit maximaler Effizienz beizubehalten.