Soluciones de vacío para la fabricación de semiconductores

Los sectores de los semiconductores y la electrónica son fundamentales para el desarrollo continuo de tecnologías e innovaciones que están transformando nuestra vida cotidiana. Algunos de los dispositivos tecnológicos más potentes y complejos que se han desarrollado son los smartphones, los ordenadores y los dispositivos de juego, entre otros. La base de esta tecnología es un microchip diminuto. A pesar de ser tan pequeños, estos chips se encuentran entre los equipos más complejos que existen en la actualidad y su fabricación requiere un proceso de producción muy delicado. 

El sector de la fabricación de semiconductores es una de las industrias del mundo que evoluciona más rápidamente, con nuevos productos que exigen continuamente velocidades más rápidas y especificaciones más exigentes. A su vez, este proceso requiere un suministro de vacío fiable y constante. Se requiere un vacío doméstico limpio y uniforme para las operaciones de comprobación, mantenimiento, recogida y colocación y envasado que se realizan en la industria. Por lo tanto, seleccionar la solución de bomba de vacío adecuada es crucial para el proceso de producción.

La bomba de vacío de tornillo rotativo GHS VSD⁺ de Atlas Copco es una opción popular en el sector de los semiconductores, ya que la tecnología VSD⁺ es mucho más que un simple "accionamiento de velocidad variable". La GHS VSD⁺ está equipada con un controlador lógico y un software patentados que proporcionan un nivel de vacío constante en toda la fábrica. Nuestra bomba de vacío inteligente es líder en innovación ecológica y reduce significativamente el consumo de energía, lo que disminuye el impacto medioambiental y fomenta la sostenibilidad.

Atlas Copco también ofrece la gama completa de bombas de vacío de garras secas DZS VSD⁺ y bombas de vacío de anillo líquido LRP VSD⁺. Sus diseños duraderos y probados son idóneos para operaciones de fabricación más pequeñas, para sustituciones directas de bombas existentes o cuando la reducción del coste de adquisición es más importante que el coste total del ciclo de vida. El rango de capacidad y la tecnología VSD⁺ de todas las bombas de vacío de Atlas Copco las convierten en la opción ideal para los sistemas de vacío centrales, incluido el vacío doméstico que se encuentra en las fábricas de semiconductores. 

En una red de vacío doméstica, las moléculas de aire se desplazan en la dirección de la bomba de vacío y, en el nivel de vacío diseñado, la densidad del flujo sigue siendo considerable. Por esta razón, las moléculas de aceite y la humedad no pueden migrar hacia el proceso. Las bombas de vacío suelen estar situadas lejos de las salas de producción en un espacio específico. Esto da libertad para seleccionar la tecnología de las bombas sin preocuparse por la contaminación de la red por hidrocarburos. Sin embargo, se debe prestar atención al entorno en el lado de descarga de las bombas de vacío.

Las bombas de vacío de Atlas Copco, como la gama de bombas de vacío de tornillo rotativo selladas con aceite GHS VSD⁺, están equipadas con sistemas de retención de aceite superiores. Si es necesario, se pueden instalar sistemas de filtración adicionales en el escape de la bomba para garantizar que no se añada contaminación a la atmósfera, así como sofisticados sistemas de circulación/filtración de aire alrededor de la fábrica.

Si lo que necesita es una bomba de vacío de tecnología seca certificada de Clase 0, Atlas Copco ofrece la línea de productos de bombas de vacío de garras secas DZS VSD⁺.

Tradicionalmente, las fábricas de semiconductores han tenido problemas con el vacío doméstico debido a las grandes fluctuaciones del nivel de vacío. El rendimiento de las bombas convencionales se degrada debido al desgaste y a las condiciones ambientales, como las variaciones de temperatura.

El diseño de la bomba de tornillo rotativo lubricada con aceite GHS VSD⁺ de Atlas Copco mantiene un rendimiento constante independientemente de las condiciones ambientales. La velocidad deseada para el proceso está siempre disponible. Equipada con la tecnología VSD⁺ de Atlas Copco, la GHS VSD⁺ acelera y ralentiza automáticamente para adaptarse a la demanda variable de vacío, manteniendo el punto de ajuste necesario con la máxima eficiencia.