Aufbau eines optimalen CDA-Systems für saubere, trockene Luft
CDA für die Halbleiterindustrie
In der Halbleiterindustrie ist saubere, trockene Luft so wichtig, dass für den Dauerbetrieb einer Anlage spezielle Anforderungen an die Druckluftqualität bestehen: Dafür steht CDA (Clean Dry Air). Um diese Anforderungen zu erreichen, muss Ihre Druckluft extrem sauber und trocken sein. Dazu benötigen Sie ein System mit Kompressor, Trockner und mehreren Leitungsluftfiltern (Luft- und Prozessfilter) für saubere, trockene Luft.
Aber das ist noch nicht alles: Um den Anforderungen des Elektroniksektors gerecht zu werden, müssen Druckluft- und Luftaufbereitungsgeräte auch äußerst zuverlässig sein. Da die Elektronikproduktion so viel Energie verbraucht, ist Effizienz entscheidend, um die Betriebskosten niedrig zu halten.
Wenn Sie alle diese Anforderungen zusammennehmen, ist klar, dass Ihre Wahl des Anbieters von CDA-Druckluftgeräten entscheidend ist.
Erfüllt den CDA-Standard mit Reinheitsklasse 0
Alles beginnt mit dem Ziel, die höchste Druckluftqualität zu erreichen. Aber was bedeutet das? Die Qualität der Druckluft wird durch die internationale Norm ISO 8573-1:2010 definiert. Sie bestimmt, wie viel von einem bestimmten Schadstoff die Druckluft enthalten darf, um für verschiedene Anwendungen sauber genug zu sein.
Um beispielsweise einen Reifen aufzupumpen, muss die Luft nicht sehr sauber sein. In einer Reinraumumgebung muss die Luftqualität jedoch extrem hoch sein. Daher ist die ISO-Norm in sieben Klassen und drei Verunreinigungsarten unterteilt: Feuchtigkeit, Öl und Partikel.
Je niedriger die Klasse, desto sauberer die Luft. Extrem trockene Druckluft ohne Öl- oder Partikelspuren würde für alle drei Verunreinigungen der Klasse 0 entsprechen. Für die meisten Anwendungen ist Klasse 0 nicht erforderlich. Wenn doch, muss die Luft entweder öl-, wasser- oder partikelfrei sein, aber selten alles zusammen.
In der Elektronikindustrie muss die Luft jedoch alle oben genannten Voraussetzungen erfüllen, um Produktionsausfälle und Produktverunreinigungen zu vermeiden. Um die CDA-Anforderungen zu erfüllen, muss die Druckluft für alle Verunreinigungen die Klasse 0 erreichen.
Unsere CDA-Lösungen
Um dieses Ziel zu erreichen, benötigen Sie ein hochwertiges System für saubere, trockene Luft, um Ihren Reinraum und Ihre Halbleiterproduktion zu schützen.
Den Anfang macht dabei ein Kompressor für saubere, trockene Luft. In diesem Fall benötigen Sie ein ölfrei verdichtendes Modell, um Klasse 0 in der ersten Kategorie zu erreichen.
Atlas Copco bietet eine große Auswahl an Modellen, die nicht nur ölfreie Luft liefern, sondern auch zuverlässig und effizient arbeiten. Dadurch stellen Sie nicht nur sicher, dass Ihre Halbleiterchargen nicht verunreinigt und Ihre Maschinen nicht durch Korrosion zerstört werden, sondern Sie können auch Ihre Produktionskosten erheblich senken.
Die zweite Verunreinigung, um die Sie sich kümmern müssen, ist Wasser. Um die Feuchtigkeit vollständig aus Ihrer Druckluft zu entfernen, benötigen Sie einen CDA-Adsorptionstrockner. Da die Luft für die Halbleiterproduktion komplett trocken sein muss, sollte es sich um einen sogenannten Adsorptionstrockner mit Trockenmittel handeln. Dies ist die einzige Möglichkeit, den erforderlichen Drucktaupunkt (DTP) von unter -70 °C zu erreichen.
Auch hier haben wir ein umfassendes Angebot an Lösungen. Dazu gehören auch Trockner mit Cerades™, dem ersten festen Trockenmittel für Druckluft. Das macht sie effizienter und zuverlässiger.
Damit bleiben als letzte Verunreinigungsart noch Partikel. Um staubfreie Luft zu erhalten, benötigen Sie verschiedene CDA-Luftfilter. Der erste befindet sich zwischen dem Kompressor und dem Trockner, der dadurch geschützt wird. Die anderen sind dem Trockner nachgelagert und enthalten einen PTFE-Membranfilter. Zusammen eliminieren sie Partikel bis zu einer Größe von 0,01 μm.
Wir erfüllen auch all Ihre Filtrationsanforderungen.
Holen Sie sich ein Druckluftsystem für saubere, trockene Luft von einem einzigen CDA-Anbieter
Bei Atlas Copco erhalten Sie hochwertige, hocheffiziente Geräte für Ihre speziellen Anforderungen. Sie erhalten zudem ein Druckluftsystem für saubere, trockene Luft aus einer Hand: CDA-Kompressor, -Trockner und -Luftfilter, die alle optimal zusammenarbeiten.