CDA - čistý suchý vzduch pro polovodičový průmysl
Vše, co potřebujete vědět o CDA – čistý suchý vzduch
Co je CDA?
CDA znamená čistý suchý vzduch a je standardem kvality stlačeného vzduchu pro polovodičový průmysl. Úrovně kvality ovzduší, které jsou v tomto odvětví zapotřebí, přesahují úrovně většiny ostatních aplikací. Z dobrého důvodu. Neexistuje téměř žádný jiný průmysl, kde by kontaminace mohla mít tak zničující a drahé důsledky.
Kromě toho, zatímco některé aplikace vyžadují bezolejový, bezprašný nebo suchý stlačený vzduch, v polovodičovém průmyslu musí být všechny tři. Je to proto, že jakákoli vlhkost, částice/prach nebo olej v čistém prostoru může zničit celou řadu polovodičů a co je důležitější, komponenty z nerezové oceli strojů, které je vyrábějí. To může stát miliony eur a dolarů. Proto je kvalita vzduchu nezbytná a spolehlivý přívod čistého suchého vzduchu je rozhodující.
Čistý suchý vzduch podle ISO 8573-1:2010
Jak čistý a suchý musí být vzduch?
Musí splňovat třídu 0 normy ISO 8573-1:2010, která je mezinárodní normou pro třídy kvality ovzduší.
Tato norma definuje, kolik ze tří typů kontaminantů může vzduch obsahovat. Čím nižší je třída, tím vyšší je kvalita vzduchu. Proto třída 0 znamená, že nejméně kontaminovaný vzduch může být.
A aby bylo možné splnit požadavky čistých prostor při výrobě polovodičů, měl by vzduch dosáhnout kvality třídy 0 pro vlhkost, olej a prach.
Jak dosáhnout třídy 0 pro vlhkost, olej a prach?
- Vše začíná správným vzduchovým kompresorem. Investice do bezmazné jednotky znamená, že již není třeba starat se o jednoho výrobce kontaminantních polovodičů.
- Dále speciální filtry odstraňují prach nebo jiné částice ze stlačeného vzduchu a udržují je mimo čisté prostory. Budete potřebovat několik z nich, abyste se dostali do třídy 0.
To se stará o "čisté", ale co "suché"? tím se eliminuje riziko koroze.“
- K tomu budete potřebovat vysoce výkonnou sušičku , která může dosáhnout tlakového rosného bodu (PDP) pod -70°C. tohoto druhu PDP lze dosáhnout pomocí adsorpčního sušiče s adsorpčním prostředkem. Tyto adsorpční sušičky jsou optimální volbou pro zajištění velmi suchého vzduchu pro kritické aplikace.
Nastavení instalace systému stlačeného vzduchu CDA
Ale jak musí být typická instalace CDA nastavena tak, aby se kontaminující látky z čistých prostor udržely a dosáhly trojnásobné nulové kvality?
- První je bezolejový kompresor. Vzhledem k tomu, že výroba polovodičů vyžaduje hodně energie, má smysl investovat do energeticky účinného modelu. To může výrazně snížit provozní náklady.
- Následuje předfiltr. Jeho úkolem je zachytit většinu částic ve stlačeném vzduchu. Tímto způsobem je vzduch, který dosáhne sušičky, již mnohem čistší, což pomáhá snížit jeho potřeby údržby. Zatímco adsorpční sušička dělá skvělou práci při sušení vzduchu, může produkovat nějaký adsorpční prach. Proto je nově vysušený vzduch veden dvěma po filtrech. Odfiltrují adsorpční prach a dále čistí vzduch.
- V této fázi jsou ponechány jen ty nejmenší částice. Nyní musí vzduch projít ještě jedním filtrem. Obvykle se jedná o membránový filtr PTFE, který využívá technologii povrchové filtrace k zachycení částic až do velikosti 0,01 μm.
Po tomto posledním kroku lze čistý suchý vzduch nyní používat v čistém prostředí, aniž by byla ohrožena výroba polovodičů.